1. ການອອກແບບ miniaturized ແລະ detachable, ຫຼາຍງ່າຍທີ່ຈະປະຕິບັດແລະສອນ
2. ຫົວກວດຈັບເລເຊີແລະຂັ້ນຕອນການສະແກນຕົວຢ່າງແມ່ນປະສົມປະສານ, ໂຄງສ້າງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຫຼາຍ, ແລະການຕ້ານການແຊກແຊງແມ່ນແຂງແຮງ.
3. ອຸປະກອນການຈັດຕໍາແຫນ່ງ probe ຄວາມແມ່ນຍໍາ, ການຈັດຕໍາແຫນ່ງ laser ຈຸດແມ່ນງ່າຍຫຼາຍ
4. ແກນດຽວຂັບເຄື່ອນຕົວຢ່າງອັດຕະໂນມັດໄປຫາ probe ໃນແນວຕັ້ງ, ດັ່ງນັ້ນປາຍຂອງເຂັມໄດ້ຖືກສະແກນ perpendicular ກັບຕົວຢ່າງ.
5. ວິທີການໃຫ້ອາຫານເຂັມອັດສະລິຍະຂອງ motor-controlled pressurized piezoelectric ceramic ກວດຈັບອັດຕະໂນມັດປົກປ້ອງ probe ແລະຕົວຢ່າງ.
6. ການຈັດຕໍາແຫນ່ງ optical ອັດຕະໂນມັດ, ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງສຸມໃສ່ການ, ການສັງເກດການໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງຂອງພື້ນທີ່ສະແກນຕົວຢ່າງ probe.
7. Spring suspension shockproof ວິທີການ, ງ່າຍດາຍແລະປະຕິບັດ, ຜົນກະທົບ shockproof ດີ
8. ເຄື່ອງສະແກນປະສົມປະສານຕົວແກ້ໄຂຜູ້ໃຊ້ທີ່ບໍ່ແມ່ນເສັ້ນຊື່, ລັກສະນະ nanometer ແລະຄວາມແມ່ນຍໍາການວັດແທກທີ່ດີກວ່າ 98%
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ:
ຮູບແບບການເຮັດວຽກ | ໂໝດແຕະ, ແຕະ ໂໝດ |
ໂໝດທາງເລືອກ | Friction/Lateral Force, Amplitude/Phase, Magnetic/Electrostatic Force |
ເສັ້ນໂຄ້ງ spectrum ແຮງ | ເສັ້ນໂຄ້ງຜົນບັງຄັບໃຊ້ FZ, ເສັ້ນໂຄ້ງ RMS-Z |
ໄລຍະສະແກນ XY | 20*20um, ທາງເລືອກ 50*50um, 100*100um |
ໄລຍະສະແກນ Z | 2.5um, ທາງເລືອກ 5um, 10um |
ຄວາມລະອຽດສະແກນ | ແນວນອນ 0.2nm, ແນວຕັ້ງ 0.05nm |
ຂະຫນາດຕົວຢ່າງ | Φ≤90mm, H≤20mm |
ຕົວຢ່າງການເດີນທາງຂັ້ນຕອນ | 15*15ມມ |
ການສັງເກດການທາງແສງ | 4X ເລນຈຸດປະສົງທາງແສງ/ຄວາມລະອຽດ 2.5um |
ຄວາມໄວສະແກນ | 0.6Hz-30Hz |
ມຸມສະແກນ | 0-360° |
ສະພາບແວດລ້ອມການດໍາເນີນງານ | ລະບົບປະຕິບັດການ Windows XP/7/8/10 |
ການໂຕ້ຕອບການສື່ສານ | USB2.0/3.0 |
ການອອກແບບການດູດຊຶມ | ລະດູໃບໄມ້ປົ່ງຖືກໂຈະ |