1.ຫົວກວດຈັບເລເຊີແລະຂັ້ນຕອນການສະແກນຕົວຢ່າງແມ່ນປະສົມປະສານ, ໂຄງສ້າງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຫຼາຍ, ແລະການຕ້ານການແຊກແຊງແມ່ນແຂງແຮງ.
2.Precision probe ຕໍາແຫນ່ງອຸປະກອນ, ການຈັດຕໍາແຫນ່ງ laser ຈຸດແມ່ນງ່າຍຫຼາຍ
3.ຕົວຢ່າງການຂັບແກນດຽວອັດຕະໂນມັດເຂົ້າໃກ້ probe ໃນແນວຕັ້ງ, ດັ່ງນັ້ນປາຍເຂັມແມ່ນ perpendicular ກັບການສະແກນຕົວຢ່າງ.
4.ວິທີການໃຫ້ອາຫານເຂັມອັດສະລິຍະຂອງ motor-controlled pressurized piezoelectric ceramic ກວດຈັບອັດຕະໂນມັດປົກປ້ອງ probe ແລະຕົວຢ່າງ.
5. ການຈັດຕໍາແຫນ່ງ optical ອັດຕະໂນມັດ, ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງສຸມໃສ່, ການສັງເກດການໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງຂອງພື້ນທີ່ສະແກນຕົວຢ່າງ probe.
6.Spring suspension shockproof ວິທີການ, ງ່າຍດາຍແລະປະຕິບັດ, ຜົນກະທົບ shockproof ດີ
7.Metal shielded soundproof box, built-in ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງ, ການກວດສອບເວລາທີ່ແທ້ຈິງຂອງສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກ.
8.Integrated scanner ບັນນາທິການຜູ້ໃຊ້ການແກ້ໄຂ nonlinear, nanometer characterization ແລະການວັດແທກຄວາມຖືກຕ້ອງດີກວ່າ 98%
ຮູບແບບການເຮັດວຽກ | ໂໝດແຕະ, ແຕະ ໂໝດ |
ໂໝດທາງເລືອກ | Friction/Lateral Force, Amplitude/Phase, Magnetic/Electrostatic Force |
ເສັ້ນໂຄ້ງ spectrum ແຮງ | ເສັ້ນໂຄ້ງຜົນບັງຄັບໃຊ້ FZ, ເສັ້ນໂຄ້ງ RMS-Z |
ໄລຍະສະແກນ XY | 20*20um, ທາງເລືອກ 50*50um, 100*100um |
ໄລຍະສະແກນ Z | 2.5um, ທາງເລືອກ 5um, 10um |
ຄວາມລະອຽດສະແກນ | ແນວນອນ 0.2nm, ແນວຕັ້ງ 0.05nm |
ຂະຫນາດຕົວຢ່າງ | Φ≤90mm, H≤20mm |
ຕົວຢ່າງການເດີນທາງຂັ້ນຕອນ | 15*15ມມ |
ການສັງເກດການທາງແສງ | 4X ເລນຈຸດປະສົງທາງແສງ/ຄວາມລະອຽດ 2.5um |
ຄວາມໄວສະແກນ | 0.6Hz-30Hz |
ມຸມສະແກນ | 0-360° |
ສະພາບແວດລ້ອມການດໍາເນີນງານ | ລະບົບປະຕິບັດການ Windows XP/7/8/10 |
ການໂຕ້ຕອບການສື່ສານ | USB2.0/3.0 |
ການອອກແບບການດູດຊຶມ | Spring Suspended/Metal Shielded Box |